На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2051347 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01L009/12 | Аналоги изобретения: | 1. Порта М. и др. Пленочные датчики давления и их применение. Recherche acrospaciale, 1982, N 3, p.177-186. |
Имя заявителя: | Центральный аэрогидродинамический институт им.Н.Е.Жуковского | Изобретатели: | Казарян А.А. Чекрыгин В.Н. | Патентообладатели: | Центральный аэрогидродинамический институт им.Н.Е.Жуковского |
Реферат | |
Использование: в системах автоматического контроля и управления, в медицине и т. д. Сущность изобретения: процесс изготовления датчиков основан на образовании элементов датчика методом фотолитографии. Температурная обработка (160 170°С) пакета датчиков производится под давлением 30 35 кг/кв. см в течение 50 60 мин.
|