Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 2066856

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 93033307 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: G01L009/08    
Аналоги изобретения: 1. "Sensors and Act." 4/1983/ p.357-362. 2. "IEEE, El, Dev. Let.", N 10, 1987, V.EDL-8 - прототип. 

Имя заявителя: Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им.Ф.В.Лукина 
Изобретатели: Мишачев В.И.
Лиховид С.В.
Корсаков В.С.
Трутнев Н.Ф.
Самсонов Н.С.
Васенков А.А.
Мазуренко С.Н.
Акулова Г.В.
Семенихина Л.А. 
Патентообладатели: Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им.Ф.В.Лукина 

Реферат


Использование: в пьезоэлектрических, электроакустических преобразователях, для измерения шумов. Сущность изобретения: датчик содержит мембрану 1, на планарной стороне которой расположена компенсирующая пленка 2, а над ней пленка 3 пьезоэлектрического материала с двумя электродами 4, 5, первый из которых расположен на ее внешней поверхности. Мембрана 1 выполнена из кремния, компенсирующая пленка 2 - из термически окисленной двуокиси кремния, при этом на пленке расположен второй электрод 5, а между ним и пленкой 3 пьезоэлектрического материала расположена введенная изолирующая пленка 6 из двуокиси кремния, а толщина мембраны выбрана из условия 0,5 - 5,0 мкм, толщина компенсирующей пленки составляет 0,1 - 0,3 мкм, толщина пленки пьезоэлектрического материала рана 1,0 - 1,5 мкм. Кроме того, для ряда применений указанного датчика использована кремниевая мембрана, легированная бором до концентрации не менее 7·1019-3. 2 c. и 1 з.п. ф-лы, 2 ил.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"