На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 2080573

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  92002520		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: изобретение относится к полупроводниковым преобразователям и может быть использовано для измерения давления. Цель изобретения: повышение точности измерения и улучшение технологичности конструкции. Сущность изобретения: в преобразователе давления, содержащем мембрану с жестким центром 5 и утолщенной периферийной частью 6, элемент жесткости в виде замкнутого дополнительного выступа 4, и тензорезисторами 7 (R₁ - R₄), мембрана, жесткий центр 5, утолщенная периферийная часть 6 мембраны и дополнительный выступ 4 выполнены прямоугольной формы, каждый тензорезистор 7 выполнен в виде последовательно соединенных, резистивных участков, которые расположены на мембране как в тангенциальном, так и радиальном направлении, при этом резистивные участки пары тензорезисторов с положительной чувствительностью расположены соответственно вдоль сторон периферийного контура 8 мембраны и дополнительного выступа 4 и перпендикулярно сторонам дополнительного выступа 4 и жесткого центра 5, а резистивные участки пары тензорезисторов с отрицательной чувствительностью расположены соответственно перпендикулярно сторонам периферийного контура 8 мембраны и дополнительного выступа 4 и вдоль сторон дополнительного выступа 4 и жесткого центра 5, причем толщина h_m мембраны и толщины h_b дополнительного выступа удовлетворяют соотношению h_m : h_b = 0,03 - 0,2. 1 ил.

Вернуться к списку