SU 1675702 A1, 07.09.1991. SU 1712802 A1, 15.02.1992. SU 1744530 A1, 30.06.1992. RU 2345341 C1, 27.01.2009. GB 1431039 A, 07.04.1976. DE 19754613 A1, 18.06.1998. US 5349867 A, 27.09.1994.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" (RU)
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике. Сущность: датчик давления содержит корпус, мембрану (1) радиуса r1 , выполненную с жестким центром (2) радиуса r2 и утолщенным периферийным основанием (3). На мембране сформированы тензорезисторы (R1-R8), выполненные в виде соединенных низкоомными перемычками в окружном и радиальном направлении идентичных резистивных тензоэлементов. Тензорезисторы (R1-R8) соединены в две мостовые схемы. Одна мостовая схема расположена по периметру утолщенного периферийного основания (3), а вторая - по периметру жесткого центра (2). Тензорезисторы (R1, R3) первой мостовой схемы, соединенные в радиальном направлении, расположены напротив соединенных в радиальном направлении тензорезисторов (R5, R7) второй мостовой схемы. Тензорезисторы первой мостовой схемы (R2, R4), соединенные в окружном направлении, расположены напротив тензорезисторв (R6, R8), соединенных в окружном направлении второй мостовой схемы. Мостовые схемы диагоналями питания подключены к общим контактным площадкам (4). Выходные диагонали соединены встречно. Размеры сторон резистивных тензоэлементов радиальных и окружных тензорезисторов одинаковы. Тензоэлементы первой мостовой схемы своими наиболее удаленными от центра мембраны (1) вершинами касаются границы раздела мембраны (1) и периферийного основания (3). Резистивные тензоэлементы второй мостовой схемы своими наиболее близкими от центра мембраны (1) вершинами касаются границы раздела мембраны (1) и жесткого центра (2). Тензорезисторы (R1-R8) выполнены из одного и того же материала в едином технологическом процессе. Технический результат: повышение точности измерения во всем рабочем диапазоне температур, в том числе при воздействии термоудара. 3 ил.