|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ДАТЧИК ПЕРЕПАДА ДАВЛЕНИЯ ЕГИАЗАРЯНА МДПД - Е И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 94040416 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94040416 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Егиазарян Э.Л. | | Изобретатели: | Егиазарян Э.Л. |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к микроэлектронным измерительным преобразователям перепада давления, и может быть использовано для измерения давления и перепада давления жидких и газообразных сред. Целью изобретения является повышение точности измерения микродатчика жидких сред. Поставленная цель достигается тем, что измерительная полость, представляющая собой капиллярный канал произвольной формы, заполнена предварительно обезгаженной буферной жидкостью. Способ изготовления микродатчика заключается в сборке и закачке рабочей жидкости в систему механических элементов датчика, при этом перед закачкой жидкости вакуумируют полости микродатчика, а жидкость предварительно обезгаживают.
|
Поиск патентов