На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРОВ |  |
Номер публикации патента: 2045041 |  |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01N021/63 | Аналоги изобретения: | 1. Зеленка И. Пьезоэлектрические резонаторы на объемных и поверхностных акустических волнах. М.: Мир, 1990, с.454. |
Имя заявителя: | Уральский государственный технический университет | Изобретатели: | Галанов Г.Н. Зацепин А.Ф. Кортов В.С. Лучинин А.С. Мальцев А.П. Тюков В.В. Ушкова В.И. | Патентообладатели: | Уральский государственный технический университет |
Реферат |  |
Использование: технология изготовления и контроль качества изделий акустоэлектроники на поверхностных акустических волнах. Сущность изобретения: контроль осуществляктся путем измерения тока фотостимулированной экзоэлектронной эмиссии при сканировании УФ-зондом локального участка поверхности между излучающим и приемным встречно-штыревыми преобразователями.
|