|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ |  |
Номер публикации патента: 2333474 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N021/88 | | Аналоги изобретения: | HANS S. et al. Characterization of mirror-like wafer surface using magic mirror method. J. of Crystal Growth, v.103, №1-4, p.423-432. BY 6374 С1, 30.09.2004. SU 815492 A, 25.03.1981. JP 9133637 A, 20.05.1997. DE 3532690 A, 26.03.1987. |
| Имя заявителя: | Производственное республиканское унитарное предприятие "Завод полупроводниковых приборов" (BY) | | Изобретатели: | Сенько Сергей Федорович (BY)
Сенько Александр Сергеевич (BY)
Белоус Анатолий Иванович (BY)
Плебанович Владимир Иванович (BY) | | Патентообладатели: | Производственное республиканское унитарное предприятие "Завод полупроводниковых приборов" (BY) |
Реферат | |
Изобретение относится к области электронной техники, в частности к микроэлектронике, и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов, жидкокристаллических индикаторов (ЖКИ), фотошаблонов и другой продукции. Способ контроля включает освещение контролируемого объекта излучением оптического диапазона от точечного источника и анализ отраженного на специальный экран светотеневого изображения, заключающийся в последовательном измерении интенсивности элементов изображения заданного
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента