T.SCHULZ ET AL. «THERMOLUMINESCENCE IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE». JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 104, 8, p.083710, (2008). RU 2303254 C2, 20.07.2007. RU 2197732 C1, 27.01.2003. RU 2355483 C2, 20.05.2009. WO 2004/065944 A2, 05.08.2004.
Имя заявителя:
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н.Ельцина" (RU)
Изобретатели:
Вайнштейн Илья Александрович (RU) Вохминцев Александр Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н.Ельцина" (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике. Способ включает облучение исследуемой области материала сканирующим электронным пучком, стимулирование люминесценции исследуемой области материала и регистрацию стимулированной люминесценции. Стимуляцию люминесценции исследуемой области осуществляют лазерным излучением, причем воздействие лазерного излучения на исследуемую область материала производят позже облучения этой области материала электронным пучком на время задержки, определяемое соотношением зад10×зат, где зад - это время задержки между воздействием на исследуемую область электронного пучка и лазерного излучения, зат - это время затухания катодолюминесценции исследуемой области материала, находящееся в пределах от 1 нс до 109 нс. Технический результат - повышение точности отождествления результатов люминесценции с конкретной областью образца, обеспечение экспрессности исследования, расширение возможности исследования люминесценции в материалах. 4 ил., 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента