Устройство для регистрации загрязнений на, по меньшей мере, частично прозрачной подложке включает в себя источник (2) и приемник (1) электромагнитного излучения, а также держатель (4) для искривленной подложки. Держатель (4) расположен таким образом, чтобы установленная в нем искривленная подложка, по меньшей мере, на отдельных участках проходила между источником (2) и приемником (1) излучения. Держатель (4) подложки выполнен с возможностью крепления подложки, имеющей по существу форму полого цилиндра, и расположен таким образом, чтобы источник или приемник (1) излучения во время работы устройства находился внутри подложки, имеющей форму полого цилиндра. Причем приемник излучения является строчным, а источник (2) является источником электромагнитного излучения в диапазоне длин волн от 350 до 500 нм. Технический результат заключается в обеспечении возможности исследования участка поверхности искривленной подложки с малой угловой протяженностью, позволяющей пренебречь кривизной этого участка. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента