|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТАРНОГО СОСТАВА ТВЕРДОГО ТЕЛА |  |
Номер публикации патента: 2017143 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N023/22 H01J049/26 | | Аналоги изобретения: | 1. Geruard W., Oechsues H. Mass spectrauetry of neutral neolecules sputtered froey polycrystal - 5 line metals by AR + -ious of 100-1000 ev, J.Phys. B. 1975, v.22p.41-48. |
| Имя заявителя: | Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН | | Изобретатели: | Макаренко Б.Н.
Попов А.Б.
Шергин А.П. | | Патентообладатели: | Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН |
Реферат | |
Использование: относится к аналитическому приборостроению, использующему масс-спектрометрию вторичных частиц, распыляемых при ионном облучении поверхности, для элементного анализа материалов. Благодаря высокой чувствительности масс-спектрометрия распыляемых частиц широко применяется в электронной и химической промышленности.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента