|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ ТОПОГРАФИИ ПОВЕРХНОСТИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2329490 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N023/225 | | Аналоги изобретения: | RU 2089968 C1, 17.04.2002. EP 0442630 A2, 21.08.1991. WO 0157878 A1, 09.08.2001. WO 318525 A1, 16.09.1993. |
| Имя заявителя: | Институт физики металлов УрО РАН (RU) | | Изобретатели: | Григоров Игорь Георгиевич (RU)
Зайнулин Юрий Галиулович (RU)
Ромашев Лазарь Николаевич (RU)
Устинов Владимир Васильевич (RU) | | Патентообладатели: | Институт физики металлов УрО РАН (RU) |
Реферат | |
В основу изобретения положена задача повышения точности формирования топографического изображения объекта в цифровой форме путем получения микрорельефа его поверхности за счет топографического контраста, обусловленного сбором и регистрацией зондом с измерительной головкой сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) вторичных электронов, эмиссия которых происходит в результате неупругого взаимодействия сфокусированного пучка электронов РЭМ.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента