На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
КОНДЕНСАЦИОННЫЙ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ ГИГРОМЕТР | |
Номер публикации патента: 2283486 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01N025/56 | Аналоги изобретения: | US 4057823 А, 08.11.1977. SU 1409889 А, 15.07.1988. SU 1550396 A, 15.03.1990. GB 2043908 A, 08.10.1998. |
Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный институт электронной техники (технический университет)" (RU) | Изобретатели: | Зиновьев Дмитрий Валерьевич (RU) Андреев Владимир Михайлович (RU) | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный институт электронной техники (технический университет)" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерительной техники. Конденсационный гигрометр содержит слой окисленного пористого кремния на монокристаллической подложке, систему встречно-штыревых электродов и металлических контактов к ней. Поры в окисленном пористом кремнии имеют коническую, расширяющуюся к поверхности форму, а электроды, изолированные окислом, выполнены из поликремния и заглублены в тело монокристаллической подложки на всю толщину пористого слоя.
|