На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ДАТЧИК ГАЗОАНАЛИЗАТОРА | |
Номер публикации патента: 2030738 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | G01N027/12 | Аналоги изобретения: | 1. Виглеб Г. Датчики. - М.: Мир, 1989, с.99-103. |
Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | Изобретатели: | Анисимов С.И. Скупов В.Д. Шенгуров В.Г. | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Сущность изобретения: датчик содержит кремниевую подложку со сквозным отверстием, покрытым с рабочей стороны датчика мембраной из диоксида кремния. На мембране последовательно расположены пленочный нагреватель, слой диэлектрика, газочувствительный полупроводниковый слой, а также токопроводящие контакты к нагревателю и газочувствительному слою. Отверстие в подложке заполнено окисленным пористым кремнием, концентрация пор в котором от границы раздела с мембраной линейно уменьшается по глубине отверстия от 60 до 20%. 1 ил.
|