На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
РЕЗИСТИВНЫЙ ГАЗОВЫЙ ДАТЧИК | |
Номер публикации патента: 2038589 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01N027/12 | Аналоги изобретения: | 1. Евдокимов А.Б. и др. Микроэлектронные датчики состава газов. - Зарубежная электронная техника, 1988, N 2, с.9. |
Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | Изобретатели: | Жуков Г.Ф. Смолин В.К. | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем |
Реферат | |
Использование: в аналитической технике, в частности в полупроводниковых резистивных газовых датчиках. Сущность изобретения: датчик содержит кремниевую подложку с диэлектрической мембраной, на которой между измерительными электродами сформирован газочувствительный слой, и окружающий электроды пленочный кольцевой нагреватель.
|