|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ДАТЧИК СОСТАВА ГАЗА |  |
Номер публикации патента: 2054664 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N027/12 | | Аналоги изобретения: | 1. Евдокимов А.В. и др. Микроэлектронные датчики химического состава газов. Зарубежная электронная техника, вып.2 (321), 1988, с.7. 2. Grisel A., Demarue V. An Integrated low power thin film CO gas sensor on silicon. Int. Meet Chem, Seus, Bordeaux, July, 7 - 10, 1986, pp. 247-253. |
| Имя заявителя: | Нижегородское производственное предприятие "Эко Плюс" | | Изобретатели: | Жуков Г.Ф.
Чепуренко О.Ф. | | Патентообладатели: | Нижегородское производственное предприятие "Эко Плюс" |
Реферат | |
Использование: в измерительной технике при разработке микроэлектронных датчиков состава газа. Сущность изобретения: датчик содержит кремневую подложку с выполненной на ней мембраной из диоксида кремния, на которой последовательно сформированы резистивный нагреватель, слой изолирующего диэлектрика и пленка чувствительного материала.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента