|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКА СОСТАВА ГАЗА |  |
Номер публикации патента: 2065601 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01N027/12 | | Аналоги изобретения: | 1. Аш Ж. и др. Датчики измерительных систем, М., Мир, ч. II, с. 393 -394. 2. Fang Y.K., Zee J.J. Thin Solid films, 1989, v. 169, N 1, p. 51 - 56. |
| Имя заявителя: | Самарский государственный университет | | Изобретатели: | Рыбаков О.Е.
Пурыгин П.П.
Ленивкина И.В.
Гришанов В.Н.
Якимова И.А. | | Патентообладатели: | Самарский государственный университет |
Реферат | |
Использование: при изготовлении датчиков состава газа. Сущность изобретения: способ включает очистку поверхности керамической подложки, напыление контактных площадок, напыление металлической пленки, термическое окисление ее и присоединение к контактным площадкам выводов. Металлическую пленку формируют толщиной 0,01-0,03 мкм путем последовательного напыления олова и легирующей металлической примеси, обладающей каталитическими свойствами к исследуемому газу и составляющей от массы слоя олова от 5 до 15 масс.%. Окисление проводят последовательно в атмосфере сухого кислорода при температуре 50-100oC в течение 0,8-1,2 часа, в атмосфере влажного кислорода при температуре 200-500oC в течение 2,5-3,5 часа и в атмосфере сухого кислорода при температуре 550-650oC в течение 20-40 минут при атмосферном давлении. 1 ил., 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента