На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

ДАТЧИК ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ КОМПОНЕНТОВ В ГАЗОВОЙ СМЕСИ

Номер публикации патента: 2093821

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94014978		Получить полное описание патента

Реферат

Использование: датчик предназначен для определения концентрации компонентов в газовой смеси. Сущность изобретения: датчик содержит подложку, на рабочей стороне которой нанесены последовательно, друг над другом, первый диэлектрический слой, резистивный нагревательный элемент, второй диэлектрический слой, резистивный газочувствительный элемент, а также резистивный температурочувствительный элемент, расположенный в тепловой зоне резистивного нагревательного и газочувствительного элементов и электрически связанный с ними, причем резистивные нагревательный, температурочувствительный и газочувствительный элементы образуют чувствительную часть датчика. Контактные площадки элементов чувствительной части расположены за ее пределами и соединены с ними токопроводящими элементами. В подложке со стороны, противоположной рабочей, выполнено глухое мембранообразующее отверстие под чувствительной частью датчика. Подложка расположена на буферном теплостойком слое, в котором под глухим мембранообразующим отверстием в подложке и равным ему по размеру выполнено сквозное отверстие, а со стороны, прилегающей к подложке, в нем выполнены компенсационные пазы, формирующие выступы, причем размеры и расположение выступов совпадают с проекцией контактных площадок на буферный теплостойкий слой. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.

Вернуться к списку