|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК ГАЗОВ |  |
Номер публикации патента: 2114422 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01N027/12 | | Аналоги изобретения: | JP, заявка, 1-196556, кл. G 01 N 27/12, 1989. |
| Имя заявителя: | Научно-информационный центр проблем интеллектуальной собственности | | Изобретатели: | Рембеза С.И.
Ащеулов Ю.Б.
Свистова Т.В.
Рембеза Е.С.
Горлова Г.В. | | Патентообладатели: | Научно-информационный центр проблем интеллектуальной собственности |
Реферат | |
Датчик содержит электроизолирующую подложку с размещенными на ней нагревателем, термодатчиком, электродами газочувствительного слоя и газочувствительным слоем, помещенную в металлокерамический корпус. Подложка выполнена из кремния с расположенным на ней слоем диоксида кремния. Нагреватель и термодатчик выполнены из платины с подслоем титана в виде резисторов типа "Меандр". Электроды газочувствительного слоя изготовлены в виде встречно-штырьевой структуры из того же материала. Газочувствительный слой представляет собой пленку металлооксидного полупроводника. Технический результат: повышение надежности датчика, упрощение его конструкции. 2 з.п.ф-лы, 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента