|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ ПОЛЕВОГО ТРАНЗИСТОРА И СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ГАЗОВ. |  |
Номер публикации патента: 2169363 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N027/12 | | Аналоги изобретения: | RU 2061233 C1, 27.05.1996. EP 237277 A2, 16.09.1987. RU 2035806 C1, 20.05.1995. |
| Имя заявителя: | Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина | | Изобретатели: | Березкин В.А.
Дмитриев В.К.
Певгов В.Г.
Шкуропат И.Г. | | Патентообладатели: | Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина |
Реферат | |
Использование: в первичных преобразователях концентрации газов в электрические сигналы. Технический результат: снижение энергопотребления и расширение спектра диагностируемых газов газочувствительного датчика на основе полевого транзистора. На поверхность подложки кремния, на котором формируется газочувствительный полевой транзистор с нагревателем из поликремния, наносится многослойная диэлектрическая пленка, имеющая окна для затвора, в областях истока и стока, контактов поликремниевого нагревате
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента