|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ МЕТАЛЛООКСИДНЫЙ ДАТЧИК ГАЗОВ |  |
Номер публикации патента: 2206082 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N027/12 | | Аналоги изобретения: | RU 2114422 C1, 27.06.1998. RU 2076315 C1, 27.03.1997. US 4938928 A, 03.07.1990. JP 1196556 A, 08.08.1989. |
| Имя заявителя: | Воронежский государственный технический университет | | Изобретатели: | Рембеза С.И.
Свистова Т.В.
Горлова Г.В.
Рембеза Е.С. | | Патентообладатели: | Воронежский государственный технический университет |
Реферат | |
Изобретение относится к области газоаналитической техники и аппаратуры, в частности к полупроводниковым металлооксидным датчикам для контроля токсичных и взрывоопасных газов. Сущность: датчик газов представляет собой кристалл кремния, покрытый изолирующим слоем диоксида кремния, на котором размещены нагреватель-термодатчик, выполненный в виде резистора из платины с подслоем титана, электроды встречно-штырьевой конструкции из того же материала для газочувствительного слоя и чувствительный слой, пр
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента