|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ДАТЧИК ВЛАЖНОСТИ ПОВЕРХНОСТНО - КОНДЕНСАЦИОННОГО ТИПА |  |
Номер публикации патента: 2224246 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N027/12 | | Аналоги изобретения: | УОЛЛЕР Л. Контроль уровня влажности внутри корпуса БИС. - Электроника, 1980, №4, стр. 12-13. SU 1821714 А, 15.06.1993. US 5048336 А, 17.09.1991. US 4057823 А, 08.11.1977. US 4677415 A, 30.06.1987. |
| Имя заявителя: | Воронежский государственный технический университет | | Изобретатели: | Горлов М.И.
Андреев А.В.
Ануфриев Л.П.
Николаева Е.В. | | Патентообладатели: | Воронежский государственный технический университет |
Реферат | |
Использование: в области производства интегральных схем (ИС) для контроля содержания паров воды в подкорпусном объеме как в процессе их производства, так и при испытаниях и на входном контроле. Сущность изобретения: микроэлектронный датчик влажности поверхностно-конденсационного типа для контроля содержания влаги в подкорпусном объеме ИС содержит на пластине кремния сдвоенный термодатчик резисторно-диодного типа и конденсатор, состоящий из двух встречных гребенок металлизации, и выполнен в виде л
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента