|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ДАТЧИКА ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ МЕТАНА В ГАЗОВОЙ СРЕДЕ |  |
Номер публикации патента: 2231052 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N027/02 | | Аналоги изобретения: | RU 2065602 C1, 20.08.1996. RU 2072518 C1, 27.01.1997. US 5767388 A, 16.08.1998. US 5726347 A, 10.03.1998. US 5635628 A, 10.06.1997. |
| Имя заявителя: | Вологодский государственный технический университет (RU) | | Изобретатели: | Ударатин А.В. (RU)
Федоров М.И. (RU) | | Патентообладатели: | Вологодский государственный технический университет (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к полупроводниковой сенсорной технике. Технический результат изобретения - упрощение технологии изготовления датчика газа и снижение его стоимости. Сущность: на ситалловую подложку с растровыми электродами из антикоррозийного сплава наносится газочувствительный слой химически очищенного фталоцианина магния толщиной не более 15 нм, который подвергается технологической активации и легированию кислородом воздуха.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента