Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Саратовский государственный технический университет" (СГТУ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к области газового анализа, а именно к способам и устройствам распознавания состава многокомпонентных газовых смесей, характеризующимся повышенной чувствительностью к малым концентрациям компонентов газовых смесей. Способ анализа состава газовой смеси и определения концентрации входящих в нее компонентов включает нагрев газочувствительного металлооксидного слоя до температуры 100-400°С, размещение нагретого слоя в исследуемой газовой смеси, приложение электрического напряжения вдоль поверхности газочувствительного металлооксидного слоя с последующим измерением распределения потенциала между точками приложения электрического напряжения, обработку измеренных распределений потенциала методами распознавания образов и сравнение результатов обработки с предварительно полученными калибровочными результатами для известных газов, по которому делают вывод о составе газовой смеси и концентрации входящих в нее компонентов. При этом калибровочные результаты для известных газов получают в последовательности, аналогичной для исследуемого газа. Для реализации способа предлагается устройство - мультиэлектродный сенсор, содержащее диэлектрическую подложку с нагревательными элементами и нанесенным на поверхность подложки газочувствительным металлооксидным слоем, полосковые электроды, расположенные по краям газочувствительного слоя и, по крайней мере, один измерительный электрод, размещенный между полосковыми электродами. При этом полосковые электроды снабжены выводами для подключения к источнику напряжения, а измерительные электроды снабжены выводами для подключения к устройству измерения потенциала. Изобретение обеспечивает возможность распознавания примесей газов, особенно в малых концентрациях, и формирование с помощью групповых технологий микроэлектроники сенсорных устройств на основе металлооксидных слоев с минимизированным влиянием электродов и/или материала электродов, характеризующихся малыми массогабаритными характеристиками и низким энергопотреблением. 2 н. и 7 з.п. ф-лы, 8 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента