Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Омский государственный технический университет" (RU)
Изобретатели:
Кировская Ираида Алексеевна (RU) Шубенкова Екатерина Гаррьевна (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Омский государственный технический университет" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области газового анализа, в частности к детектирующим устройствам, применяемым для регистрации и измерения содержания микропримесей аммиака и других газов. Газоанализатор согласно изобретению содержит полупроводниковое основание, выполненное из поликристаллической пленки антимонида индия, легированного теллуридом цинка, нанесенной на электродную площадку пьезо-кварцевого резонатора, которая служит подложкой. Изобретение обеспечивает повышение чувствительности датчика и технологичность его изготовления. 3 ил.