Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "ПРИБОР" (RU)
Изобретатели:
Шконда Сергей Эдуардович (RU) Камалдинов Игорь Азатович (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "ПРИБОР" (RU)
Реферат
Изобретение относится к полупроводниковым чувствительным элементам датчиков газоанализаторов, предназначенных для определения содержания газообразных отравляющих веществ и различных примесей в воздухе. Дифференциальный сенсорный датчик, включает измерительное и опорное плечи, выполненные в виде диэлектрической подложки, на одной стороне которой нанесен ленточный нагреватель с контактами для подключения к источнику питания, а на другой - газочувствительный элемент с контактными выводами для соединения с измерительным блоком. Газочувствительный элемент в измерительном и опорном плечах выполнен из одного и того же полупроводникового материала, причем показатель R отношения концентрации акцепторных центров со значением показателя константы кислотности рКа=3,3 к концентрации центров со значением показателя константы кислотности в диапазоне рКа 6,4-6,8 в материале измерительного плеча отличается не менее чем в 10-15 раз от аналогичного показателя R в материале опорного плеча. Изобретение обеспечивает повышение чувствительности датчика к различным газам, повышение достоверности получаемых данных, упрощение конструкции и повышение технологичности изготовления датчика. 8 з.п. ф-лы, 3 ил.