|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| РЕЗИСТИВНЫЙ ДАТЧИК ГАЗА |  |
Номер публикации патента: 94038579 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94038579 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем | | Изобретатели: | Жуков Г.Ф. |
Реферат | |
Датчик может быть использован при изготовлении портативных газоанализаторов и газосигнализаторов. Технический результат изобретения - снижение потребляемой мощности и повышение селективности датчика. Резистивный датчик газа содержит кремниевую подложку с выполненной на ней мембраной, на которой симметрично относительно ее центра сформированы пленочный нагреватель, пленочные выводы нагревателя, изолирующий диэлектрический слой и газочувствительный слой с пленочными электродами и пленочными выводами. Пленочный нагреватель содержит два расположенных вдоль двух противолежащих кромок мембраны и параллельно им идентичных резистивных элемента. На изолирующем диэлектрическом слое и на мембране выполнены прорези вдоль других противолежащих кромок мембраны по всей их длине. Электроды газочувствительного слоя выполнены над центральным участком мембраны свободном от пленочных резистивных элементов.
|
Поиск патентов