На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА

Номер публикации патента: 95107172

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95107172

Реферат

Изобретение относится к аналитическому приборостроению и может быть использовано в тех областях науки и техники, где необходим анализ газовых и жидких сред. Цель: повышение надежности чувствительного элемента путем повышения стабильности электрофизических параметров чувствительного элемента за счет фиксации каталитических частиц и предохранения их от окисления или отравления агрессивными неизмеряемыми компонентами и путем повышения селективности за счет снижения доступа неизмеряемых компонентов смесей к чувствительному элементу. Сущность изобретения: в способе изготовления полупроводникового чувствительного элемента, заключающемся в последовательном нанесении на диэлектрическую термостойкую подложку тонкого полупроводникового слоя и слоя металла-катализатора, на поверхность слоя металла-катализатора наносят диэлектрический слой, выполненный из материала, проницаемого только для измеряемой компоненты.

Вернуться к списку