|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ОПТИЧЕСКОГО ВОЛНОВОДНОГО СЛОЯ |  |
Номер публикации патента: 2062464 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01N033/38 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент Японии N84138 кл. А23 G 3/30,1990. 2.Патент ЕР N 0351566, кл. С 07 K 15/10,1990. |
| Имя заявителя: | Уральский государственный технический университет | | Изобретатели: | Зацепин А.Ф.
Кортов В.С.
Никоноров Н.В.
Тюков В.В. | | Патентообладатели: | Уральский государственный технический университет |
Реферат | |
Использование: исследование электрофизических свойств поверхности эмиссионными методами, контроль качества элементов интегральной оптики и микроэлектроники. Сущность изобретения: в способе контроля параметров оптического волноводного слоя возбуждают в нем волноводные моды путем освещения слоя пучком когерентного излучения с энергией квантов ниже порога стационарного фотоэффекта. Контроль параметров волноводного слоя осуществляют по величине тока нестационарной экзоэлектронной эмиссии, возбуждаемой внутри контролируемого слоя собственным излучением волновода.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента