|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР - КЛИНОМЕТР |  |
Номер публикации патента: 2279092 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01P015/02 | | Аналоги изобретения: | Lernkin M.A., Boser B.E., Auslander D., Smith J.H., A 3-Axis Force Balanced Accelerometer Using a Single Proof-Mass, International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers'97), Chicago, June 16-19, 1997, p.1186, fig.1. Weigold J.W., Najafi K., Pang S.W. Design and Fabrication of Submicrometer, Single Crystal Si Accelerometer, |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Таганрогский государственный радиотехнический университет" (ТРТУ) (RU) | | Изобретатели: | Коноплев Борис Георгиевич (RU)
Лысенко Игорь Евгеньевич (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Таганрогский государственный радиотехнический университет" (ТРТУ) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения ускорения и угла наклона. Технический результат - расширение функциональных возможностей. Для достижения данного результата введена дополнительная инерционная масса, выполненная из фоторезиста, три дополнительных неподвижных электрода емкостных преобразователей перемещений, выполненных из полупроводникового материала и расположенных непосредственно на полупроводниковой подложке так, что они образуют с инерционно
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента