|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР НА ОСНОВЕ ТУННЕЛЬНОГО ЭФФЕКТА |  |
Номер публикации патента: 2289822 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01P015/135 | | Аналоги изобретения: | Navid Yazdi et all. Micromachined Inertial Sensors. Proceedings of the IEEE. Vol.86, No.8, August 1998, p.1646, fig.7. RU 2251702 C1, 10.05.2005. RU 2162229 C1, 20.01.2001. WO 03/054477 A1, 03.07.2003. US 6035714 A, 14.03.2000. |
| Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Таганрогский государственный радиотехнический университет" (ТРТУ) (RU) | | Изобретатели: | Рындин Евгений Адальбертович (RU)
Приступчик Никита Константинович (RU) | | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Таганрогский государственный радиотехнический университет" (ТРТУ) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности и технологичности. Сущность изобретения: в интегральный микромеханический акселерометр на основе туннельного эффекта, содержащий подложку, неподвижный электрод, инерционную массу, расположенную с зазором относительно неподвижного электрода, подвижный электрод, расположенный на ине
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента