На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АВТОЭМИССИОННЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР | |
Номер публикации патента: 2298191 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01P015/14 | Аналоги изобретения: | NAVID YAZDI et al. Micromachined Inertial Sensors. Proceedings of the IEEE. V.86, № 8, August 1998, p.1646, fig.7. RU 2209394 C2, 27.07.2003. RU 2072218 C1, 20.01.1997. JP 6324072 A, 25.11.1994. JP 60074580 А, 26.04.1985. |
Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Таганрогский государственный радиотехнический университет" (ТРТУ) (RU) | Изобретатели: | Рындин Евгений Адальбертович (RU) Приступчик Никита Константинович (RU) | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Таганрогский государственный радиотехнический университет" (ТРТУ) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. Акселерометр содержит подложку, четыре неподвижных электрода, инерционную массу, четыре подвижных электрода, четыре упругие балки, а также четыре якорных области подвеса, четыре вспомогательные пластины, четыре вспомогательных электрода, двенадцать областей изолирующего диэлектрика.
|