RU 2324192 C1, 10.05.2008. RU 2072728 C1, 27.01.1997. RU 2006993 C1, 30.01.1994. SU 504978 A, 26.04.1976. US 6084257 A, 04.07.2000. JP 4013975 A, 17.01.1992.
Имя заявителя:
Государственное Учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр" Московского Государственного института электронной техники" (ГУ НПК "ТЦ" МИЭТ) (RU)
Изобретатели:
Гусев Дмитрий Валентинович (RU) Красюков Антон Юрьевич (RU) Погалов Анатолий Иванович (RU) Суханов Владимир Сергеевич (RU) Тихонов Роберт Дмитриевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное Учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр" Московского Государственного института электронной техники" (ГУ НПК "ТЦ" МИЭТ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к полупроводниковым приборам для преобразования механических воздействий в электрический сигнал, измерение которого позволяет определить ускорение или силу воздействий. Акселерометр содержит несколько подвижных инерционных масс, концентраторов разной длины или ширины, перемычек между инерционными массами или концентраторами с различным положением, расположенных идентично относительно основной измерительной оси. Чувствительность повышается за счет измерения на резонансной частоте каждой из резонансных структур. Режим резонанса обеспечивает получение максимальной чувствительности. Измерительная схема настроена на резонансную частоту каждой данной инерционной массы, что обеспечивает получение спектральной характеристики воздействующих механических колебаний. 2 з.п. ф-лы, 6 ил.