|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ПОТЕНЦИАЛОВ |  |
Номер публикации патента: 2050326 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01R031/28 | | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 1465837, кл. G 01R 31/28, 1989. |
| Имя заявителя: | Суворинов Александр Владимирович,Титов Сергей Владимирович,Филипчук Татьяна Сергеевна,Шахбазов Сергей Юрьевич | | Изобретатели: | Суворинов Александр Владимирович
Титов Сергей Владимирович
Филипчук Татьяна Сергеевна
Шахбазов Сергей Юрьевич | | Патентообладатели: | Суворинов Александр Владимирович
Титов Сергей Владимирович
Филипчук Татьяна Сергеевна
Шахбазов Сергей Юрьевич |
Реферат | |
Изобретение относится к микрозондовой технике и предназначено для тестирования интегральных схем с целью контроля их работоспособности и анализа отказов в процессе проектирования и производства, определения потенциального рельефа на поверхности электродов и т. д. Способ включает облучение исследуемых участков поверхности объекта электронным зондом, энергетическую фильтрацию вторичноэмиссионных потоков с зондируемых участков объекта, построение вольт-амперных характеристик (BAX) энергоанализатора
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента