US 2002/0003037 A1, 10.01.2002. JP 2003254824 A, 10.09.2003. US 5084671 A, 28.01.1992. JP 57076852 A, 14.05.1982.
Имя заявителя:
ЕРС электроник ГмбХ (DE)
Изобретатели:
РАЙТИНГЕР Эрих (DE)
Патентообладатели:
ЕРС электроник ГмбХ (DE)
Приоритетные данные:
10.01.2005 DE 102005001163.2
Реферат
Данное изобретение относится к способу и устройству для тестирования полупроводниковых пластин (5) с помощью зажимного приспособления (1) с регулируемой установкой температуры. При этом при реализации заявленного способа при помощи заявленного устройства обеспечиваются условия, при которых мощность нагрева намного превышает заданную тестовую мощность. Причем при тестировании регистрируют увеличение температуры текучей среды, которое отражает тестовую мощность. А мощность нагрева уменьшают во время теста при, по существу, постоянной мощности охлаждения, учитывая измеренное при тестировании увеличение температуры текучей среды. Заявленное изобретение направлено на создание способа и устройства для тестирования полупроводниковых пластин, которые обеспечивают возможность тренировки полупроводниковых пластин. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента