RU 2248020 C1, 10.03.2005. RU 2334260 C1, 20.09.2008. US 6374005 B2, 16.04.2002. JP 2005084090 A, 31.03.2005.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики" (RU)
Изобретатели:
Мешковский Игорь Касьянович (RU) Серебрякова Владлена Сергеевна (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области интегральной оптики. Устройство представляет собой подложку в виде полированной пластины, выполненной из натрийборосиликатного стекла. Ликвировавшее отожженное при температуре 530°С в течение 72 часов стекло имеет состав Na2O:B2O3:SiO2=7:23:70. В подложке сформирован оптический канальный волновод, соответствующий конфигурации фотошаблона заданной топологии и содержащий включения солей тяжелых металлов. Согласно способу изображения фотошаблона заданной топологии экспонируют на подложку с нанесенным фоторезистом. Осуществляют проявку и последующую промывку образовавшихся после проявления окон и получают выщелоченный нанопористый слой. Удаляют слой фоторезиста и размещают подложку в концентрированный раствор соли тяжелых металлов до насыщения солями пор выщелоченного слоя. Подложку извлекают из раствора и подвергают воздействию температуры. При этом происходит термическое разложение солей и взаимодействие образовавшихся окислов с каркасом пористого слоя, тем самым получают оптический канальный волновод в подложке. Технический результат - расширение функциональных возможностей интегрально-оптических устройств и упрощение технологического процесса изготовления интегрально-оптических элементов. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента