US 2005264866 A1, 01.12.2005. WO 2006060034 A1, 08.06.2006. US 2005134955 A1, 23.06.2005.
Имя заявителя:
КВАЛКОММ МЕМС ТЕКНОЛОДЖИС, ИНК. (US)
Изобретатели:
ЭНДИШ Дэнис (US) МИГНАРД Марк (US)
Патентообладатели:
КВАЛКОММ МЕМС ТЕКНОЛОДЖИС, ИНК. (US)
Приоритетные данные:
02.07.2007 US 11/772,751 25.03.2008 EP 08153252.5
Реферат
Микроэлектромеханическое устройство (800) содержит подложку (20), содержащую верхнюю поверхность (88), подвижный элемент (810), расположенный сверху подложки (20), и активирующий электрод (82). Подвижный элемент (810) содержит деформируемый слой (34) и отражающий элемент (814), механически соединенный с деформируемым слоем (34). Отражающий элемент (814) содержит отражающую поверхность (92). Активирующий электрод (82) расположен сбоку от отражающей поверхности (92). Подвижный элемент (810) выполнен с возможностью проявления в ответ на разность напряжений, созданную между активирующим электродом (82) и подвижным элементом (810), реакции в виде перемещения в направлении, по существу перпендикулярном верхней поверхности (88) подложки (20). 4 н. и 30 з.п. ф-лы, 72 ил.