|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2059984 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01L021/02 G03F007/06 | | Аналоги изобретения: | Технический отчет по НИР "Создание экспериментального участка для рентгенолитографии с использованием синхротропного излучения на базе накопительного кольца "Пламя-1", 1985, с. 45-83, государственный регистрационный N Ф-19729, отраслевой - регистр N 3000652. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт "Восток" | | Изобретатели: | Генцелев А.Н.
Мельников С.Л. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт "Восток" |
Реферат | |
Изобретение относится к производству интегральных микросхем и полупроводниковых приборов, а именно к технологии ренгенолитографии, может быть использовано в установках для совмещения рисунка на маске с рисунком на подложке и экспонирования. Цель изобретения - повышение точности совмещения рисунков топологических слоев на подложке за счет снижения разброса величины рабочего микрозазора, вызванного клиновидностью подложкодержателя и подложки. Сущность изобретения: в механизме поступательного перемещения жесткое взвешивание платформы в одной из кареток выполнено на упругих металлических стержнях, расположенных в одной плоскости, параллельной рабочей поверхности подложки, что в свою очередь позволяет увеличить число степеней свободы обрабатываемого объекта. 1 з. п. ф-лы, 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента