|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПУЧКА НЕЙТРАЛЬНЫХ АТОМОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 1672865 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G21K001/06 H01L021/20 | | Аналоги изобретения: | Minogin V.G. et al. Stable Cocalization of atoms in a stonding light wave Fiell.Opt.Commun, 1978, v.36A, N 5, p.2495-2498. Миногин В.Г., Летохов В.С. Давление лазерного излучения на атомы. М.: Наука, 1986, с.147. |
| Имя заявителя: | Саратовский политехнический институт | | Изобретатели: | Никонов А.В.
Дмитриев А.Е.
Советов Н.М.
Кузнецов Е.Ф.
Клокотов В.М.
Богдевич |
Реферат | |
Изобретение относится к технике и технологии обработки микроструктур и может быть применено в производстве изделий микроэлектроники. Цель изобретения - повысить качество и разрешающую способность при производстве микроструктур, расширить спектр применяемых материалов. Пучок нейтральных атомов формируется на основе резонансного взаимодействия с полем стоячей волны монохроматического электромагнитного излучения, при этом атомы разгоняются до постоянных скоростей, воздействуя на них совокупностью попутного и встречного излучений. Фокусируют пучок путем пропускания атомов вдоль сходящихся к объекту обработки линий максимумов пространственной интерференционной картины, образованной встречным движению атомов излучением, полученным по меньшей мере от трех симметрично расположенных в плоскости точечных источников плоско поляризованного излучения. Попутное излучение поляризовано в той же плоскости, что и встречное и совмещено с охлаждающим излучением и сфокусировано в центр симметрии системы. Управляют распределением атомов по поперечному сечению пучка, регулируя поперечное распределение интенсивности попутного излучения. Описано устройство для осуществления способа формирования пучка нейтральных атомов, включающее в себя источники когерентного излучения, зеркало с отверстием и источник нейтральных атомов, выполненный в виде полого цилиндра из тугоплавкого материала, футерованного рабочим веществом, снабженного окнами в торцовых стенках и подогревателем. 2 с. и 6 з. п. ф-лы, 9 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента