|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ |  |
Номер публикации патента: 2109360 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01C017/06 | | Аналоги изобретения: | 1. Скобленко А.0в. Материалы и методы получения высокостабильных тонкопленочных резисторов микросхем. Зарубежная электронная техника, 1982, N 8, с. 27 - 59. 2 Желудь Е.С., Першина Л.К. Снятие растяжения медной пленки на подложках в результате криогенного охлаждения. Электронная техника. Сер.1, Электроника СВЧ, 1990, N 7 (431), с. 59. 3. DE, заявка 1300613, кл. H 01 C 17/00, 1969. 4. RU, патент, 2046419, кл. H 01 C 17/06, 1995. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт измерительных систем (НИИИС) | | Изобретатели: | Скупов В.Д.
Смолин В.К. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт измерительных систем (НИИИС) |
Реферат | |
Изобретение относится к области микроэлектроники. Производят нанесение на диэлектрическую подложку резистивной пленки, а затем циклическую низкотемпературную обработку в течение 25 - 30 мин в жидком азоте, чередующуюся с выдержкой на воздухе в течение 30 - 60 с и отжиг, причем на каждом последующем цикле обработки увеличивают длительность выдержки в жидком азоте в соответствии с математическим выражением. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента