US 2004050674 A1, 18.03.2004. US 2005001701 A1, 06.01.2005. EP 1429413 A1, 16.06.2004. EP 1489639 A1, 22.12.2004. SU 1597949 A1, 07.10.1990. SU 1350687 A1, 07.11.1987.
Имя заявителя:
ДЕЛЬФМЕМС (FR)
Изобретатели:
МИЙЕ Оливье (FR)
Патентообладатели:
ДЕЛЬФМЕМС (FR)
Приоритетные данные:
21.03.2005 EP 05370005.0
Реферат
Изобретение относится к области радиотехники и может быть использовано в радиочастотных коммуникационных системах. РЧ МЭМС-переключатель содержит микромеханическое переключающее устройство, размещенное на подложке и выполненное с возможностью приведения в действие между двумя положениями: первым положением (отключенное состояние) и вторым положением (включенное состояние), и активирующее устройство, предназначенное для приведения переключающего устройства в соответствующее положение. При этом микромеханическое переключающее устройство содержит гибкую мембрану (6), свободно поддерживаемую опорным устройством (3) и выполненную с возможностью изгибаться под воздействием активирующего устройства (7) и свободно скользить относительно опорного устройства (3) во время своего перемещения изгиба. 24 з.п. ф-лы, 4 ил.