|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИМПУЛЬСНОГО ОТЖИГА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН |  |
Номер публикации патента: 1512397 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J003/04 | | Аналоги изобретения: | Коваль Б.А. и др. Сильноточные импульсные электронные пучки в технологии. Новосибирск: Наука, 1983, с. 99. Бояринцев Э.А. ЖТФ, т. 51, вып. 5, 1981, с. 1044-1045. |
| Имя заявителя: | Специальное конструкторско-технологическое бюро специальной электроники и аналитического приборостроения СО АН СССР | | Изобретатели: | Годник И.А.
Двуреченский А.В.
Кашников Б.П.
Потемкин Г.А.
Кучерявый |
Реферат | |
Изобретение относится к отжигу полупроводниковых пластин и может быть использовано в технологических линиях по изготовлению приборов. Цель изобретения - повышение качества отжига полупроводниковых пластин большого диаметра (60 мм и более). Устройство выполнено в виде импульсного вакуумного диода с катодом, состоящим из искровых источников плазмы (анодом и сеткой) и содержит высоковольтный переключатель искровых источников плазмы и систему фотоконтроля, синхронизующую подключение искрового источника к импульсному генератору с моментом подачи импульса через отдельные контакты неподвижного диска переключателя. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента