|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ПЛАЗМЫ ДУГОВОГО ИСПАРИТЕЛЯ ОТ МИКРОЧАСТИЦ |  |
Номер публикации патента: 2108636 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J003/40 C23C014/48 | | Аналоги изобретения: | Аксенов И.И., Белоус В.А. и др. Транспортировка плазменных потоков в криволинейной плазмооптической системе. Физика плазмы. Т.4, вып.4, 1978, с.758. Абрамов И.С., Андреев В.А. и др. Исследование возможности применения дуоплазмотрона с вакуумным дуговым разрядом для создания пленок из порошковых материалов с низкой проводимостью. Известия ВУЗов. Физика N 3, 1994, с.128. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете | | Изобретатели: | Рябчиков А.И. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете |
Реферат | |
Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц относится к плазменному нанесению покрытий и предназначено для улучшения качества покрытий, наносимых с помощью вакуумно-дуговых испарителей. Устройство содержит жалюзную систему электродов, наклоненных к оси испарителя так, что электроды полностью перекрывают аппертуру испарителя. Электроды электрически соединены между собой последовательно и встречно и подключены к источнику тока. Между жалюзной системой и анодом испарителя включен источник напряжения смещения положительным выводом к жалюзной системе, что повышает прозрачность жалюзной системы. Электроды могут быть выполнены из набора проводников, включенных последовательно и согласно в одной жалюзной пластине и встречно - в соседних, что уменьшает величину тока, пропускаемого через систему. Для испарителей с большой рабочей поверхностью катода жалюзные пластины системы расположены под различными углами к оси испарителя. Большую прозрачность имеют жалюзные пластины, изогнутые по ширине в виде части цилиндрической поверхности, либо в виде двух плоскостей, состыкованных под тупым углом. 4 з.п. ф-лы, 7 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента