|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ РЕГИСТРАЦИИ ОТКЛОНЕНИЯ КОНСОЛИ ЗОНДА СКАНИРУЮЩЕГО МИКРОСКОПА С ОПТИЧЕСКИМ ОБЪЕКТИВОМ |  |
Номер публикации патента: 2279151 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J003/14 | | Аналоги изобретения: | US 2002000511 А, 03.01.2002. RU 32639 U1, 20.09.2003. WO 0248682, 20.06.2002. RU 2000131289 A, 10.12.2002. |
| Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) | | Изобретатели: | Быков Виктор Александрович (RU)
Беляев Алексей Александрович (RU)
Гаврилюк Василий Васильевич (RU)
Жижимонтов Владимир Вадимович (RU)
Саунин Сергей Алексеевич (RU) | | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к способам измерения отклонения консоли зонда сканирующего зондового микроскопа (СЗМ), оснащенного оптическим объективом для наблюдения исследуемой области образца. Формирование луча от источника света, направление его через оптический объектив на отражающую поверхность консоли зонда, получение с использованием оптического объектива светового пятна на чувствительной поверхности многосегментного фотоприемника и регистрация
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента