На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭОП 3 - ГО ПОКОЛЕНИЯ МЕТОДОМ ПЕРЕНОСА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2210833 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01J009/18 | Аналоги изобретения: | RU 2033656 C1, 20.04.1995. RU 1579326 C, 09.06.1995. US 4309066 A, 05.01.1982. US 4175808 A, 27.11.1979. |
Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "Катод" | Изобретатели: | Асмодьяров Р.Р. Багдуев Р.И. Локтионов В.И. Сахно В.И. | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "Катод" |
Реферат | |
Изобретение относится к электровакуумной технике, в частности к способу изготовления ЭОП 3-го поколения методом переноса и устройству для его осуществления. Технический результат - улучшение качества, увеличение производительности. Достигается тем, что способ изготовления ЭОП 3-го поколения включает периодическую загрузку групп экранно-корпусных узлов (ЭКУ) в шлюзовую камеру, термическое обезгаживание и очистку электронной бомбардировкой групп ЭКУ в сверхвысоковакуумных (СВВ) камерах термического
|