|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВАКУУМНОЙ ИНТЕГРАЛЬНОЙ МИКРОСХЕМЫ С ЭЛЕМЕНТАМИ ТИПА ЭЛЕКТРОННОЙ ЛАМПЫ И ВАКУУМНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ МИКРОСХЕМА |  |
Номер публикации патента: 2250534 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L027/00 H01L023/00 H01J009/02 H01J001/30 H05K003/16 | | Аналоги изобретения: | ПИРИО Ж. и др. Изготовление и электрические характеристики микрокатодов полевой эмиссии на углеродных нанотрубках с интегрированным управляющим электродом, “Нанотехнология”, 2002, №13, стр.1-4. RU 2121193 C1, 27.10.1998. RU 2028684 C1, 09.02.1995. US 4163949 A, 07.08.1979. |
| Имя заявителя: | ООО "АЛЬБАТЭК" (RU) | | Изобретатели: | Волков В.В. (RU) | | Патентообладатели: | ООО "АЛЬБАТЭК" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к вакуумной и твердотельной электронике. Технический результат – создание способа изготовления вакуумной интегральной микросхемы, позволяющего упростить технологию изготовления путем исключения операций травления и фотолитографии, повышение качества изготовляемой продукции. Достигается тем, что используют подложку из полупроводникового материала с множеством микроострий, расположенных согласно топологии вакуумной интегральной микросхемы.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента