|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2063472 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/00 C23C014/35 H01J017/02 | | Аналоги изобретения: | 1. Дороднов А.М. Промышленные плазменные установки. - М.: 1976, с. 35-З8. 2. Авторское свидетельство СССР N 1694688, кл. С 23 С 4/12, 1991. 3. Авторское свидетельство СССР N 1144417, кл. С 23 С 14/00, 1990. |
| Имя заявителя: | Богатов Валерий Афанасьевич | | Изобретатели: | Богатов Валерий Афанасьевич
Марахтанов Михаил Константинович
Хохлов Юрий Александрович | | Патентообладатели: | Богатов Валерий Афанасьевич
Марахтанов Михаил Константинович
Хохлов Юрий Александров |
Реферат | |
Изобретение относится к вакуумной плазменной технологии, предназначено для чистки и напыления на поверхность изделий тонкопленочных защитных или декоративных покрытий и может использоваться в машиностроении, микроэлектронике, легкой и других отраслях промышленности. Сущность изобретения: способ состоит в том, что деталь погружают последовательно в поток инертного плазмообразующего газа, достигая очистки и нагрева ее поверхности, а затем в поток плазмы транспортирующего газа, содержащего веществ: напыления. Процесс проводят при энергии ионов в плазменном потоке не меньшем 1,5 потенциалов ионизации плазмообразующего газа, газовый разряд возникает между плазменным потоком, который служит анодом, и обрабатываемой деталью, которая выполняет роль катода. Обрабатываемые детали в плазменном потоке непрерывно равномерно вращают вокруг оси, перпендикулярной оси потока, что обеспечивает их равномерную обработку. Устройство для обработки деталей содержит установленные в технологической вакуумной камере 1 плазменный ускоритель, перед выходным срезом сопла которого на валу 6 привода вращения смонтирован металлический держатель деталей 2 в виде патрона 3 с оправками 4, которые закреплены на нем таким образом, что позволяют в зависимости от размеров и формы деталей и заданных режимов обеспечить обработку поверхности деталей равномерно с заданными параметрами. 2 с.и 9 з.п.ф-лы, 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента