Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОКОМПОНЕНТНОГО ПУЧКА ИОНОВ

Номер публикации патента: 2009569

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 5026415/25 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01J027/20    

Имя заявителя: Сибирский химический комбинат 
Изобретатели: Венедиктов А.Н.
Зюзин А.В.
Муранов Е.Н.
Филин И.А. 
Патентообладатели: Сибирский химический комбинат 

Реферат


Использование: в установках ионной имплантации ионного напыления. Сущность изобретения: для получения многокомпонентного пучка ионов заданного химического состава распыляемые элементы мишени выполнены из химических соединений, несовместимых в твердой фазе. Отношение площадей поверхностей распыляемых материалов выбрано обратно пропорциональным коэффициентам их распыления и прямо пропорциональным требуемому процентному содержанию ионов каждого химического соединения в пучке.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"