На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПЛАЗМЕННЫЙ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК | |
Номер публикации патента: 2147387 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01J027/02 | Аналоги изобретения: | RU 2083020 C1, 27.06.97. RU 2114482 C1, 27.06.98. SU 791098 A, 01.02.92. US 420007 A, 16.12.80. EP 0634575 A3, 18.01.95. |
Имя заявителя: | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН | Изобретатели: | Сихарулидзе Г.Г. Лежнев А.Е. | Патентообладатели: | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН |
Реферат | |
Плазменный ионный источник может быть использован в аналитической химии, а именно масс-спектрометрии, для элементного анализа жидкостей и газов, в ионной технологии и т.д. Разрядная камера выполнена с выходной щелью. По центральной оси щели через изолятор размещено устройство для подачи рабочего вещества, выполненное в виде капилляра и соединенное с разрядной камерой источником высокого напряжения. Источник включает систему вытягивания и фокусировки ионов. В вершине капилляра размещен отрезок проволоки длиной 2 - 10 мм или металлический шарик так, чтобы зазор между проволокой или шариком и внутренней стенкой капилляра составлял 2 - 5 мкм. Источник дополнительно может содержать кольцевой полый анод, расположенный в разрядной камере соосно капилляру. Анод соединен с дополнительным источником высокого напряжения так, что отрицательный полюс первого источника соединен с капилляром, положительный полюс - с кольцевым анодом, отрицательный полюс второго источника питания соединен с кольцевым анодом, а положительный полюс - с разрядной камерой. Такое выполнение позволяет повысить эффективность анализа за счет обеспечения более равномерного ввода жидкости в разрядную камеру и увеличить степень ионизации распыленных атомов. 1 з.п.ф-лы, 2 ил.
|