Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК С ПОЛЫМ КАТОДОМ

Номер публикации патента: 2211502

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2002102255/28 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01J027/02    
Аналоги изобретения: RU 2174676 C1, 10.10.2001. RU 2147387 C1, 10.04.2000. RU 2083020 C1, 27.06.1992. RU 2045102 C1, 27.09.1995. WO 01/93293 A, 06.12.2001. DE 3843023 A1, 28.06.1990. 

Имя заявителя: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН 
Изобретатели: Сихарулидзе Г.Г. 
Патентообладатели: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН 

Реферат


Использование: в микроэлектронике при катодном распылении веществ, а также в масс-спектрометрии при элементном анализе твердых тел с высокой чувствительностью методом тлеющего разряда. Сущность изобретения: плазменный источник с полым катодом включает разрядную камеру, которая одновременно является анодом, полый катод с образцом, на вершине полого катода выполнено отверстие, напротив которого по центральной оси полого катода в разрядной камере выполнено выходное отверстие для вытягивания ионов.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"