|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИСТОЧНИК НИЗКОЭНЕРГЕТИЧНЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ ДЛЯ ТЕХНОЛОГИЙ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ |  |
Номер публикации патента: 2353017 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J027/24 | | Аналоги изобретения: | SU 1463051 A1, 23.12.1990. SU1144549 A1, 23.09.1992. JP 2005285675 A, 13.10.2005. JP 52148798 A, 10.12.1977. |
| Имя заявителя: | Варенцов Виктор Львович (RU) | | Изобретатели: | Варенцов Виктор Львович (RU) | | Патентообладатели: | Варенцов Виктор Львович (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области ионно-пучковой инженерии и может быть использовано в качестве ключевого элемента как существующих, так и новых промышленных технологий наноэлектроники. Источник низкоэнергетичных ионных пучков содержит сверхзвуковое сопло Лаваля с трубкой на оси, через которую подается мишень в виде стержня (или проволоки) в сверхзвуковую расширяющуюся часть сопла, где сфокусированный на торец мишени лазерный луч осуществляет испарение и ионизацию вещества мишени.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента